産品清洗是生(shēng)産過程的一道重要工序,對高技術(shù)産(chǎn)品而言,清洗是一道關鍵性工序(xù)。在電子産品中,清潔度對性能、質量、使用壽命和可靠性的影響更爲嚴重。例如,繼電器是自動化控制系統中的重要器件,常(cháng)因(yīn)污染物增加了接觸電阻,造成工(gōng)作失(shī)靈,該通電時(shí)不通,該斷時不斷,嚴重影響設備的可靠性。電真空器件常因清潔度不高,在高真空、高電壓條件下(xià),而出現打(dǎ)火現象以及真(zhēn)空度下降、陰極中毒、電參數劣(liè)化(huà),壽命降低等。電子線路闆上的離子污染度過高,就會增(zēng)加洩(xiè)露電流,降低表面絕(jué)緣電阻,甚(shèn)至引起短路和電化(huà)學腐蝕,嚴重影(yǐng)響儀器儀表和電子裝備的可靠性(xìng)。在微電子(zǐ)領域中,對清潔度就更爲敏感。薄膜晶體管(TFT)液晶顯示器的基(jī)闆上,1µm以下的粒子(zǐ)會造成多層配線(xiàn)構造層間的短路,1µm以上的粒子就會(huì)造成層間短路和配線的斷線,5µm以上(shàng)的粒子就會造成配(pèi)線間的短路,有機污染會造成(chéng)膜缺陷甚至脫落(luò),電性能不良,金屬離子污染會造成層間、配線間的短路,并會該變FTF的(de)特性(xìng)。
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