一、淨化防護環境
空氣中充滿灰塵(chén)粒子,而這些灰塵粒子除了影響産(chǎn)品外觀,還會在半(bàn)導體中(zhōng)形成導(dǎo)電(diàn)。因此,淨化工程技術在微電子(zǐ)技術(shù)中起着十分重要(yào)的作用,根據産品不同,生産流程中須建立不同級别的淨化室。此外,光纖(xiān)工業、液晶顯示工業、生物工程、醫藥工(gōng)業也對淨利化技術及産品有巨大的需求。
二、防靜電(diàn)環境
産品的移(yí)動、摩擦及空氣(qì)的流動均可能(néng)産生上萬伏高壓電荷,形成靜電。在所有的半導體生産領域,由于(yú)靜電的(de)負面效(xiào)應,使得保(bǎo)持高水準的産品質量和成品率變得更加困難。缺少靜電控(kòng)制,将導緻微粒污染,靜電放電損壞和設(shè)備故障。随着電子産業向高度集成化、精(jīng)密化的發展,防靜電技術成爲(wèi)電子制造業重點關(guān)注的技術(shù)之(zhī)一。
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